Klaus-Detlef Bolze - Info zur Person mit Bilder, News & Links

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42. Treffen der Nutzergruppe Ionenimplantation

www.iisb.fraunhofer.de

· Klaus-Detlef Bolze, IHP, Frankfurt (Oder) Advances in Si & Ge Millisecond Processing: From Silicon-on-Insulator to Superconducting Ge Wolfgang Skorupa, Forschungszentrum Dresden-Rossendorf Electrical Characterization of Spike and Flash Annealed Ultra Shallow Dopants Jürgen Nieß, Mattson Thermal Products GmbH, Dornstadt

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